產 品

電漿電源及 製程氣體 產 生器

製程氣體 產 生器
臭氧 產 生器
射頻電漿電源供應器
直流電漿電源供應器
功率匹配器
電漿監測系統

真空科技

不鏽鋼真空元件
真空閥門
真空計
加熱 元件及 製程排氣整合元件

流量測量及控制系統

流量測量及控制系統
製程整合元件
先進材料輸送系統

壓力量測及控制元件

電容式壓力計
氣體壓力感知計
壓力開關
壓力控制元件

氣體分析

FTIR and NDIR
Mass Spectrometry

控制及資訊整合科技

Control Systems
TOOLweb Data Acquisition, Sensor Integration and Data Analysis

超輕型測漏儀

PICO Portable Helium Leak Detectors

校正系統

電離

Static Control Products for Industry and High Technology

整合次系統

醫學電子系統

生化醫藥應用

MKS:  Power and Reactive Gas, Flow Measurement and Control, Pressure Measurement and Control, Gas Analysis, Control Information and Technology, Vacuum Technology, Leak Detection, Calibration, Integrated Subsystems, Ionization/Static Control, Medical Electronics, Biopharmaceutical